南大光电：已有4款硅前驱体产品进入国际先进制程企业验证

[db:作者]

2022-09-08 20:14:53
20:14
        【南大光电：已有4款硅前驱体产品进入国际先进制程企业验证】南大光电披露调研活动信息公告，公司先进制程金属前驱体和硅前驱体研发项目稳步推进。其中28nm制程项目中有7款“卡脖子”前驱体材料全部通过客户验证，具备稳定供应的能力。通过对前期引进的19项硅前驱体专利技术的消化、吸收和进一步研发，已有4款硅前驱体产品进入国际先进制程企业验证。